4901型光子針離子發(fā)生器旨在消除半導體和其他需要快速放電時間、低擺動電壓和精確平衡的超凈制造過程中的靜電荷。4901型使用軟X射線源，這是一種光，不需要空氣供應(yīng)即可提供離子化的分子。 

軟X射線很容易被大氣吸收，生成等量的正離子和負離子。在這些正離子和負離子附近帶電物體吸引相反電荷的離子，中和物體上的電荷。光子離子化是有效靜電放電（ESD）、靜電場（ESA）和防污染控制的高級必要解決方案。 

• 適用于關(guān)鍵的清潔度控制

• 低電壓管式

• 針式設(shè)計用于狹窄、受限空間和工具內(nèi)應(yīng)用

• 報警輸出信號
  美國SIMCO思美高光子針離子發(fā)生器
  

• 規(guī)格

• 輸入功率	24 伏直流電，60瓦
  排放	<1 秒 @ 6 英寸 (15.2 厘米); ±1,000V 到 ±100V
  余額	固有平衡0V
  離子發(fā)射	軟X射線技術(shù)
  潔凈室等級	零粒子生成
  維度	引腳頭：直徑0.94英寸 x 長度3.35英寸（2.40 x 8.50厘米） 離子器：3.3英寸 x 1.3英寸 x 長度4.8英寸（8.38 x 3.40 x 12.4厘米）帶支架
  重量	0.875 磅 (0.40 公斤)

• 應(yīng)用程序

• 半導體前端工藝用于中和在晶圓氧化、曝光、蝕刻、離子注入和干燥等操作過程中積累的靜電荷。

• 在裝載/卸載、拾取和放置以及晶圓運輸階段，將之集成到設(shè)備中以抑制靜電荷的產(chǎn)生。

• 用于檢查過程，以防止顆粒污染，從而避免對晶圓完整性和檢查結(jié)果造成影響。

• 部署測試設(shè)備以減輕靜電放電（ESD）事件，保護測試中的芯片免受潛在損壞。

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