Simco-Ion, 技術(shù)集團(tuán)的 Model 5635M AeroBar MP 離子化棒專為消除半導(dǎo)體和其他超凈制造過程中所需的快速放電時(shí)間、低擺動(dòng)電壓和精密平衡而設(shè)計(jì)，但在這些過程中不允許暴露金屬表面。AeroBar 使用 MP 技術(shù)，結(jié)合高頻率正弦波與調(diào)制脈沖（MP）提供高離子輸出和傳輸。這項(xiàng)突破性技術(shù)使 AeroBar 可以在離晶圓150毫米以內(nèi)安裝。MP 技術(shù)，結(jié)合超凈硅發(fā)射點(diǎn)和精密調(diào)整，提供 ISO 14644-12 離子化（0.01 µm 顆粒或納米顆粒）和 ISO 14644 Class 1（0.1 µm 顆粒）的清潔度，對(duì)于更小的技術(shù)節(jié)點(diǎn)至關(guān)重要。

ISO 14644-12 (0.01 µm粒子) 離子化和
ISO 14644 1級(jí) (0.1 µm粒子) 清潔度
調(diào)制脈沖技術(shù)
無金屬設(shè)計(jì) “M"
出色的橫向均勻性
低場(chǎng)電壓
氣輔助能力
可選軟件，界面易于使用，具有廣泛的可調(diào)性
報(bào)警輸出信號(hào)

美國(guó)SIMCO思美高離子發(fā)生器

規(guī)格

輸入電壓	輸入：24 VDC ±10% 電源輸入 RJ-45；0.7A（最-大）輸出：13.5 kV 峰峰值（最-大），可調(diào)
排放	在無空氣輔助的情況下，15秒內(nèi)±1000-100V（典型值），在發(fā)射器中心點(diǎn)下方24英寸處，Vp-p擺動(dòng)為80
余額	<在受控環(huán)境中于18英寸距離測(cè)量為±35伏
離子發(fā)射	調(diào)制脈沖 (MP) 技術(shù)
發(fā)射器	ISO 14644-1 1類單晶硅
潔凈室等級(jí)	ISO 14644-1 (0.1 微米顆粒) 和擴(kuò)展 ISO 1 級(jí)清潔度 (10 納米顆粒或納米顆粒)，使用 45-50% 輸出電壓設(shè)置和帶有單晶硅發(fā)射器的 OpenJet 噴嘴
維度	3.1英寸高 x 1.3英寸寬 x 13.8 / 17.7 / 23.6 / 33.5 / 39.3 / 45.3 / 51.2 / 57.1 / 63.0 / 69.0 / 74.8 / 80.7 / 86.6 / 92.5英寸長(zhǎng) (7.8 x 3.4 x 35 / 45 / 60 / 85 / 100 / 115 / 130 / 145 / 160 / 175 / 190 / 205 / 220 / 235 厘米)