Simco-Ion, Technology Group的 Novx Series 7000 過程監(jiān)控系統(tǒng)是一款多用途的基于微處理器的儀器，用于在工作站和過程中監(jiān)測關(guān)鍵的靜電相關(guān)參數(shù)。六個(gè)專用通道定制了該儀器用于監(jiān)測場電壓檢測/離子發(fā)生器平衡、ESD事件、人體電壓檢測或接地監(jiān)控和粒子計(jì)數(shù)。

智能信號處理
多種傳感器和天線款式
雛菊鏈?zhǔn)剑籖S-485或以太網(wǎng)輸出
ESD事件檢測跟蹤
三種現(xiàn)場電壓監(jiān)測選項(xiàng)
用戶可編程的報(bào)警設(shè)定點(diǎn)和自動消息通知
閉-loop控制到工具計(jì)算機(jī)
插件模塊允許工廠升級
SIMCO思美高進(jìn)程監(jiān)控器Novx 系列離子發(fā)生器

Novx 7000系統(tǒng)能夠在前端和后端半導(dǎo)體制造環(huán)境中監(jiān)控關(guān)鍵的靜電變量。其多功能傳感能力和工業(yè)通信能力使實(shí)時(shí)監(jiān)控與過程靜電控制集成成為可能。作為一個(gè)用于靜電監(jiān)測的通用工具，它可以監(jiān)測靜電放電事件、靜電場、粒子密度、人員和工作站接地，并能夠控制離子發(fā)生器的平衡和放電參數(shù)，同時(shí)在FPD、硬盤驅(qū)動器和醫(yī)療制造應(yīng)用中增強(qiáng)監(jiān)控用途。

規(guī)格

現(xiàn)場感知
輸入電壓	±15 - ±5000V
輸出電壓	0 - ±5.0
準(zhǔn)確性	±1V 用于 <20V；±5% 用于 >20V
ESD事件檢測	CDM / HBM
粒子計(jì)數(shù)器界面	數(shù)據(jù)采集
身體電壓檢測
施加電壓	<0.5V
準(zhǔn)確性	±0.5V
接地監(jiān)測
范圍	1-20 歐姆
施加電壓	<0.5V
準(zhǔn)確性	0.5 歐姆
一般
維度	2.7英寸寬 x 7英寸高 x 5.5英寸深 (6.9 x 17.8 x 14 厘米)
重量	2.5 磅（1.4 公斤）